【共通】プラズマの緊急停止方法
ソフトウェアのフリーズ等でプラズマが点灯したまま消灯できなくなった場合、下記の手順で消灯・復帰をお試し下さい。
- ICP本体左側後部側面のメインスイッチ（ブレーカー型）をお切り下さい
- その後冷却装置、オートサンプラー（あれば）、PCの電源をお切りください
- 電源オフから10秒経過した後、ICP本体、オートサンプラー、PCを順番に立ち上げ、ソフトから正常に通信が取れていることをご確認下さい
※注意：以前はトーチボックスドアレバーを引くことで強制消灯を御案内しておりましたが、現在は上記手順での消灯をお願い致します
【6000/7000】装置起動と停止の注意点
ご使用前：分光器の温調の安定には最短2時間以上が必要です。また、検出器保護のためガスパージ(Ar or N2)を開いた後1時間以上経ってから、冷却水循環装置（チラー）をONにしプラズマ点灯してください。
ご使用後：プラズマ消灯しチラーをOFFにしてから20分以上経ってからガスパージを閉めてください。
※ パージ時間が十分でないと検出器に不具合が発生するおそれがあります。
ご使用の流れ
| 9:00 | 装置の電源ON |
| 10:00 | パージガス開（N2 or Ar）、排気ON |
| 11:00 | プラズマガス開、PCおよびソフト起動、試料導入系の接続確認、チラーON、プラズマ点灯 |
| 11:15 | 測定開始 |
| 11:40 | 定終了、プラズマ消灯、2分経ってからチラーOFF、PCをシャットダウン、プラズマガス閉 |
| 12:00 | パージガス閉、排気OFF |
パージとプラズマガスが共にArガス共用の場合、プラズマガス開閉は無視してください。
190nm以下の波長を安定的に測定する場合は、パージ時間を十分とってください。
装置を設置する室内温調によっては2時間では足らない場合がございますのでご注意ください。
【6000/7000】故障が疑われる場合
- 装置本体の電源をOFFとON（プラズマが点灯している場合は消灯後）
- 付属品およびPCも再起動
- 可能な限り全ての試料導入系の交換（トーチアダプター、チャンバーアダプター含む）
- ガス圧の確認（0.55MPa以上）
以上を実施しご確認ください
【6000/7000】ThermoFlexエラー表示（サービスコード）
ThermoFlexサービスコード
サービスコードはエラーではなく、消耗部品の交換・点検目安として機能一定期間で表示されます
- SEr 1 ステッパーバルブの累計カウントが60,000,000ステップに到達
- SEr 2 ポンプの累計稼働時間が10,000時間に到達
- SEr 3 P1ポンプモーターの累計稼働時間が35,000時間に到達
- SEr 4 圧力トランスデューサーの累計稼働時間が10,000時間に到達
- SEr 5 フロートランスデューサーの累計稼働時間が64,000時間に到達
- SEr 6 ファンモーターの累計稼働時間が20,000時間に到達
解決しなかった場合
こちらにもICP-OES（iCAP6000 or 7000シリーズ）に関するFAQがございます。
